國產替代加速，半導體設備迎來上升周期

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2022-03-17 08:40:20 48

據報道，受臺積電、三星等代工廠積極擴產疊加技術路線演進的影響，半導體設備需求大幅增長。SEMI近日在其全球半導體設備市場統計（WWSEMS）報告中宣布，2021年*季度全球半導體設備的銷售額同比增長51%，比上一季度增長21%，達到236億美元。我們認為受供需結構向好及行業景氣度上行的推動，產業鏈公司將持續受益。
2020 年大陸半導體設備市場位列全球*
制造是半導體產業最關鍵、市場份額最大的環節，而設備和材料是半導體制造的基石。隨著國內半導體制造環節銷售額占整體半導體產業鏈比重逐年提升，用于半導體制造的設備和材料市場也向國內轉移。
受益于國內疫情控制有效，以及政策、資本支持，2020 年中國大陸半導體設備銷售額達 181 億美元，同比+35%，超越中國臺灣位列全球*。材料銷售額達 98 億美元，同比+12%，超越韓國位列全球第二。由于設備和材料一定程度上是晶圓制造的景氣程度的先導指標，因此未來國內半導體制造市場還將繼續擴張。
半導體設備企業業績高速增長
受益于行業高景氣度延續以及國產替代持續推進，以北方華創、中微公司、華峰測控、長川科技、精測電子、至純科技、芯源微為代表的半導體設備企業2020 年及 2021 年一季度收入及凈利潤均實現高速增長。尤其是2021年*季度，凈利潤增速同比超過100%。 眾多細分領域實現突破，國產替代進程加速
國內半導體設備行業起步較晚，總體營業規模上與海外巨頭差距較大，但近年來國內企業不斷加大投入，在技術上不斷做出關鍵性的突破，打破了許多領域的空白，部分細分市場已開始實現國產替代。
例如：刻蝕機方面：中微公司研發已到達 5nm 的技術節點，處于國際*水平；薄膜沉積設備方面：北方華創已達到 14/28nm 的技術節點；清洗設備方面：至純科技打入了中芯國際、華虹等企業的供應鏈；測試機方面：華峰測控入了日月光、意法半導體等國際封測龍頭的供應鏈。

中微公司
國內* 7nm/5nm 刻蝕技術設備商
目前公司等離子體刻蝕設備已被廣泛應用于國際一線客戶從 65 納米到 14 納米、7 納米和 5 納米的集成電路加工制造及先進封裝。其中 7nm/5nm 刻蝕技術為國內*。并以獲得批量訂單。此外，中微公司從 2010 年開始開發用于 LED 外延片加工中最關鍵的設備——MOCVD 設備，目前已開發了三代 MOCVD 設備，可用于藍綠光 LED、功率器件等加工，包括：*代設備 Prismo D-Blue、第二代設備 PrismoA7 及正在開發的第三代 30 英寸大尺寸設備。
市占率加速提升
從本土存儲及邏輯 IC 制造廠商的招標情況來看，中微公司整體采購比例超過 15%，是進入主流存儲、Foundry 廠商最大的本土半導體刻蝕設備供應商。同時，公司在本土市場的市占率加速提升，以在長江存儲的中標情況來看，2020年至今已達 9 臺，占同期招標比例的 22%。

長川科技

研發力度不斷加大，核心技術實現突破
2020H1 公司研發投入達 0.89 億元，同比增長110%。收入占比達 28%。并取得重點研發進展。
主要包括：自主開發基于 1024 個數字通道、200Mbps 數字測試速率、1G 向量深度以及 128A 電流測試能力的數字測試機 D9000，打破數字測試機國內空白；開發國內首臺自主知識產權 8/12 寸全自動超精密探針臺，可應用于 SOC、Logic、Memory、Discrete 等，目前已在客戶端進行 Demo，二代產品在研；模組自動化測試裝備批量導入國內主流廠商，完成國際*終端客戶最終認證。
定增助推探針臺快速產業化和國產化
2020年，公司擬通過定增募集資金 3.72 億元，用于探針臺研發及產業化。本次探針臺募投項目所研發的產品為公司第二代全自動超精密探針臺，兼容 8/12 寸晶圓測試，產品細分包括 CP12-SOC/CIS、CP12-Memory、CP12-Discrete、CP12-SiC/GaN 等，分別可應用于 SOC/CIS、 Memory、 Discrete、第 3 代化合物半導體等集成電路的測試。
目前，全新第二代探針臺研發項目已完成關鍵技術模塊的開發和驗證，現處于內部整機測試階段。全球探針臺主要被東京精密和 TEL 壟斷，在少數國產探針臺供應商中，長川最有希望率先實現國產化。

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