2024-10-11
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擴散（Diffusion）是晶圓制造過程中至關重要的工藝步驟之一，尤其是在半導體制造中，用于摻雜硅基材料。這一過程是通過擴散將特定的摻雜物（如磷、硼、砷等）引入硅晶圓，以調整其導電性。 1. 擴散的基本原理 擴散，是指分子從高濃度區域向低濃度區域移動的過程。在晶圓制造中，擴散的對象是摻雜物（例如砷、磷或硼等），這些摻雜物通過擴散在硅晶體中移動，從而形成特定的電特性。這一過程可以簡單類比為在一杯水中滴入墨水，墨水開始集中在水的一部分，但經過一段時間，它會逐漸擴散，最終在整杯水中均勻分布。
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